第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡! (2/5)
议,秦锋就来到了高科技研发中心,得到了任务,大家伙立刻就拍着胸脯保证,小问题,尽快搞定!
“徐教授,你有事?”看着徐教授那欲言又止的样子,秦锋开口问道。
“秦总,目前咱们的芯片加工水平已经发展到了0.18微米,我们继续向新一代的光刻机研发,在这个过程中,我们遇到了技术瓶颈。”此时的徐教授,脸上带着尴尬。
当初,秦总慧眼识珠,投资徐教授的光刻机,之后,国产光刻机技术就开始爆发了,一直都领先整个世界。
但是现在……己方在这里举步不前,那国产芯片技术,就要被国外逐渐追赶上来,甚至还有被反超的可能。
这段时间,徐教授非常着急,头发都白了!
今天,秦总既然过来了,那就给他汇报一下吧,万一秦总有什么好主意呢?
“光源问题?”秦锋倒是想到了什么,开口问道。
“没错,就是光源问题!”徐教授兴奋地说道:“随着光刻机技术的进步,我们需要的激光光源,波长也会越来越小,现在,新一代激光光源,遭遇了很大问题。”
芯片制造中,最关键的就是光刻,这需要激光光源!
这些年来,激光光源在不断进步,从436纳米的g-line,到365纳米的i-line,再到248纳米KrF,目前使用的是193纳米的ArF光源,这条路一直走得很通畅,但是,到了193纳米之后,就开始遇到问题了!
“按照技术路线,接下来就轮到157纳米的F2光源了,但是这个光源的问题很大。”徐教授说道:“这种波长下,熔石英的吸收很大,没法用熔石英来做透射式系统,目前业界的期待是用CaF2来做,但是,依旧会遇到双折射的问题……咱们卡在这里已经半年多了……”
己方原地踏步,国外在追赶,用不了多久,就会被国外追上了!徐教授很着急!
在后世,秦锋也并不知道这个157纳米的光源为啥不能用,但是他知道,尼康赌这个系统,然后失败了,而当时无数次濒临破产的ASML,把制胜的法宝押在了林本坚的浸润式光刻机上,于是成功了。
所以……这还用说吗?
“既然这种光源有问题,那就不要用了。”
“那我们用什么?”徐教授的目光中带着焦虑。
“还用之前的193纳米。”
徐教授睁大了眼睛,不可思议地看向秦锋,秦总,这个光源不够用啊!
不过……秦总既然这么说了,肯定有他的道理,还是听一听他怎么说。
“将这个光源穿过去离子水,水的折射率是多少来着?这样一换算,应该能将波长降低到130纳米左右吧?”
徐教授深深地呼吸了一口气,一旁的倪老已经开口了:“换算过来,是133纳米,这样比157纳米的光源还要小,但是……”
徐教授的脸上带着苦笑:“秦总,咱们的光刻机里是有电路的,您要在光刻机里加水……”
这听上去,有些扯淡啊!
秦锋笑了笑,林本坚当年在硅谷介绍这种技术的时候,所有人都以为他是在扯淡,毕竟之前的光刻机都是干式的,要在里面加水?脑子进水了吧?
只有那个即将破产的ASML,决定押这种
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